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面向可穿戴成像应用的压电MEMS超声器件研究

发布者:曹玲玲发布时间:2026-01-16浏览次数:10

报告人:牛鹏飞 副教授 天津大学

主持人:张煜东

报告时间:2026年1月30日(周五)下午15:00-16:30

报告地点:av电影 九龙湖校区计算机楼513报告厅

报告摘要:压电MEMS超声器件PMUT凭借其小型化、低功耗及低成本特性,可便捷集成于柔性贴片,实现对心脑血管等人体组织的长期连续监测,在可穿戴超声成像领域具有显著应用潜力。然而与传统压电陶瓷相比,PMUT在灵敏度、带宽等核心超声参数上存在显著差距,显著制约了其在成像领域的应用。我们从PMUT工作机制、微元及大面积阵列设计、制造工艺、超声匹配封装、监测应用及信号采集电路等维度展开系统研究,突破了灵敏度与带宽的核心限制,攻克了大面积阵列高一致性制造技术,研制出综合性能优异的PMUT芯片,并开展了多个组织的穿戴式成像验证,为穿戴式超声成像的规模化应用奠定了低成本换能器技术基础。

报告人简介:牛鹏飞,博士,天津大学精仪av电影副教授。其博士学位由西班牙巴塞罗那材料研究所ICMAB-CSIC与巴塞罗那微电子研究所IMB-CNM-CSIC联合培养,毕业后在美国国家标准与技术研究院NIST完成博士后研究。自2018年起任职于天津大学精仪av电影,先后担任讲师、副教授,专注于压电微机械超声换能器PMUT芯片的‌结构设计和工艺开发、封装技术‌,以及‌基于超声芯片的可穿戴传感与成像应用‌研究,致力于通过MEMS超声技术实现人体心脑血管等健康指标的‌穿戴式长期动态监测‌。

科研项目‌:主持国家自然科学基金青年项目、面上项目及国家基础加强计划项目等国家级课题,并作为核心成员参与国家重点研发计划项目。

学术成果‌:在微纳传感器领域权威期刊IEEE EDL、IEEE TBME、IEEE SENS J、JMEMS及行业会议IEEE MEMS、IEEE IUS发表MEMS超声相关论文20余篇,多次作会议口头报告。

技术进展‌:已成功研发出高性能MEMS超声器件,正在推进产业化应用。


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